「原子能安全績優獎」評審分為初審及複審兩階段作業，初審作業由核安會各業務處及所屬機關代表共同組成專案小組，就每一候選個案進行書面審查，並圈選進入複審的建議名單。複審作業由核安會長官擔任召集人，邀集會外專家學者，共同組成複審委員會進行評審，分由委員們就各入圍者的優良事蹟及其貢獻度評定名次，總合統計後提出獲獎建議名單。名單經陳報核安會主任委員核定後，擇日舉行公開頒獎儀式。